1.磨刀板的作用
r磨刀板可以替代晶圆假片用来磨利切割刀片
r比起传统的使用硅片磨刀方法,显著提高切割机的工作效率
r只需几分钟,就可完成磨利刀片,同时通过提高切割效率来节省物料成本
2. 为何使用磨刀板?
r磨刀板可以在新的晶圆切割刀片使用前使用来提高刀片的锐度
r安装新的刀片 → 磨刀→ 切割晶圆
r-新刀片经过磨刀程序后,使金刚石表面凸起的地方平滑,
r从而防止晶圆切割毛边或者裂纹
3. 优势——节省成本
比起传统的硅片切割磨刀的方式,磨刀板能极大缩短磨刀的时间,提高磨刀的效率。
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